| Бакалавриат | Магистратура | Специалитет |
| 28.03.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника 28.03.02 - Наноинженерия 28.03.03 - Наноматериалы | 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника 28.04.02 - Наноинженерия 28.04.03 - Наноматериалы 28.04.04 - Наносистемы и наноматериалы |